麻省理工学院、应用材料公司和东北微电子联盟中心将为 MIT.nano 带来 200mm 先进研究能力麻省理工学院新闻

以下是麻省理工学院和应用材料公司的联合声明。

麻省理工学院和应用材料公司今天宣布达成一项协议，连同东北微电子联盟向麻省理工学院提供的资助（NEMC）中心承诺估计超过 4000 万美元的私人和公共投资，以增加先进的纳米制造设备和能力 麻省理工学院纳米，该研究所的纳米科学与工程中心。 此次合作将在美国创建一个独特的开放式站点，支持使用大批量生产工厂中的相同设备进行行业兼容规模的研发，以加速硅和化合物半导体、电力电子、光学计算、模拟设备和其他关键技术。

应用材料公司提供的设备和相关资金以及实物支持将显着增强 MIT.nano 制造高达 200 毫米（8 英寸）晶圆的现有能力，这种尺寸对于工业原型设计和广泛使用的半导体生产至关重要。市场范围包括消费电子、汽车、工业自动化、清洁能源等。 该设备旨在填补学术实验和商业化之间的空白，将有助于建立一座连接早期创新与行业市场路径的桥梁。

“一个出色的芯片新概念不会对世界产生影响，除非公司能够生产数百万份芯片。 MIT.nano 与应用材料公司的合作将创造关键的开放获取能力，帮助创新从实验室工作台转移到工业铸造厂进行制造。”麻省理工学院负责研究的副校长兼 EA Griswold 地球物理学教授 Maria Zuber 说道。 “我感谢应用材料公司对这一愿景的投资。 新工具集的影响将波及整个麻省理工学院、整个马萨诸塞州、该地区和整个国家。”

应用材料公司是全球最大的半导体、显示器和其他先进电子产品制造设备供应商。 该公司将在 MIT.nano 提供多种最先进的工艺工具，能够支持 150 毫米和 200 毫米晶圆，并将增强和升级 MIT 拥有的现有工具。 除了协助 MIT.nano 进行设备的日常操作和维护外，应用材料公司的工程师还将开发新的工艺能力，这将使麻省理工学院及其他地方的研究人员和学生受益。

应用材料公司副总裁兼 ICAPS 业务总经理 Aninda Moitra 表示：“芯片变得越来越复杂，200mm 器件尤其是碳化硅和氮化镓等化合物半导体的持续进步存在巨大需求。” “Applied 很高兴能够与 MIT.nano 合作，在美国创建一个独特的开放访问网站，芯片生态系统可以在其中合作加速创新。 我们与麻省理工学院的合作扩大了应用材料公司的大学创新网络，并进一步减少了新技术商业化的时间和成本，同时加强了未来半导体行业人才的输送。”

这 NEMC 中心由马萨诸塞州技术合作组织 (Massachusetts Technology Collaborative) 管理 (马萨诸塞科技公司），将拨款 770 万美元用于安装这些工具。 国家能源管理委员会是 区域“枢纽” 它连接并增强了新英格兰各地以及新泽西州和纽约州不同组织的能力。 美国国防部 (DoD) 选择 NEMC 中心作为八个微电子公共中心之一，并从 CHIPS 和科学法案中获得资金，以加速关键微电子技术从实验室到工厂的过渡，刺激新的就业机会，扩大劳动力培训机遇，并投资于该地区的先进制造和技术行业。

微电子共享计划在联邦一级由负责研究和工程的国防部副部长办公室和海军水面作战中心、起重机部门管理，并通过 国家安全技术加速器 (NSTXL)，负责组织全国八个区域中心的执行。 国防部和 NSTXL 的领导人在实地考察与 NEMC Hub 成员会面期间出席了一次活动，宣布了公共部门对该项目的支持。

“这些工具在 MIT.nano 的安装和运行将对 NEMC Hub 的成员、马萨诸塞州和东北地区的经济以及国家安全产生直接影响。 这就是《CHIPS 和科学法案》的意义所在。”MassTech Collaborative 副主任兼 NEMC 中心临时主任 Ben Linville-Engler 说道。 “这是 NEMC Hub 为实现微电子共享使命而进行的一项重要投资。”

MIT.nano 是一座占地 200,000 平方英尺的设施，位于 MIT 校园中心，拥有原始的 100 级洁净室，能够容纳这些先进的工具。 其开放获取模式意味着 MIT.nano 的工具集和实验室不仅可供校园使用，还可供其他学术机构、非营利组织、政府以及从财富 500 强跨国公司到本地初创公司等公司的研究人员进行早期研发。 MIT.nano 教务主任弗拉基米尔·布洛维奇 (Vladimir Bulovic) 表示，他预计新设备将于 2025 年初上线。

“凭借 NEMC 提供的重要安装资金，并与应用材料公司进行了彻底且富有成效的规划流程，MIT.nano 已准备好安装该工具集并将其集成到我们的扩展功能中，为来自学术界、初创公司和老牌公司的 1,100 多名研究人员提供服务， ”Bulovic 说道，他同时也是麻省理工学院电气工程和计算机科学系新兴技术的 Fariborz Maseeh 教授。 “我们渴望添加这些强大的新功能，并对随之而来的新想法、合作和创新感到兴奋。”

作为与 MIT.nano 合作的一部分，应用材料公司将加入 MIT.nano 联盟，这是一个由来自全球不同行业的 12 家公司组成的行业计划。 在公司技术人员的贡献下，应用材料公司还将有机会与麻省理工学院的知识中心合作，包括继续成为该公司的会员。 微系统技术实验室。